基本資料
雜誌名稱《微細加工技術》季刊
主辦單位信息產業部電子第48研究所
編輯出版微細加工技術編輯部
國際標準刊號ISSN1003-8213
國內統一刊號CN43-1140/TN
聯合征定代號LD431140
創刊日期1982.12
期刊特色
《微細加工技術》創刊於1983年，是國家科委和國家新聞出版署批准，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。是國家一級檢索刊物，被美國工程信息公司Ei資料庫收錄，是《中國期刊網》、《中國學術期刊（光碟版）》、《中國學術期刊綜合評價資料庫》、萬方資料庫全文收錄用刊，是《中國科學引文資料庫》來源期刊。
本刊專業範圍是製造半導體積體電路、微電子器件的新工藝設備，特別是關鍵工藝的圖形光刻、摻雜改性、薄膜生長、超微結構等微細加工技術。
本刊是我國集中反映國內外電子束、離子束、光子束（三束）為主的製造微電子器件與積體電路製造新工藝、新設備在科研、技術、工程和套用方面進展與成就的主要刊物。涉及電子束曝光、X射線曝光、雷射束曝光；電漿乾法刻蝕和其它新的圖形刻蝕；離子注入摻雜及金屬、非金屬、有機物等材料改性；薄膜澱積和外延生長；超微結構及新型功能電子材料的研製、亞微米和納米尺度的加工，ULSI、光電器件、量子器件、集成感測器、微機械及微結構等領域的加工技術及發展動態。
