EPMA

micro-an microprobe)或探針(probe)。 Electron

基本內容

EPMA是英文Electron probe micro-analyzer的首字母縮寫，中文譯為電子探針顯微分析儀，也被簡稱為電子探針(electron microprobe)或探針(probe)。可在樣品微米領域進行高靈敏度的元素分析。控制系統全部數位化。觀察、分析只需使用滑鼠、鍵盤，操作極為便利,並可通過網際網路進行計算機操作。利用電子微束對微小的固體樣品就地進行無損化學分析。與掃描電鏡(Scanning Electron Microscope)原理基本相同,但增加了化學分析的功能。這是電子探針最重要的功能，利用波長色散光譜分析法(Wavelength Dispersive Spectroscopy)可以在一兩個微米的很小範圍內得到精確定量的元素分析結果。三位空間分析能力，與描繪樣品詳細圖像的能力相結合，使其能夠分析地質學樣品和解析出單相內（地質學上研究的通常是玻璃體或礦石）複雜的化學劑量變化。使用電子束能夠得到比可見光束高得多的解析度。