電子級雙氧水純化裝置

電子級雙氧水是微電子行業專用化工原料,主要用於半導體製造過程,產品品質要求高且精度隨信息技術發展而不斷升級,工業化生產有較大的技術難度,目前國內尚無規模化生產裝置。

概述

本課題研製的一套高性能電子級雙氧水純化裝置 ,具有占地面積小、耗能省、原料單耗低、產品純度高、易自動控制、所耗人力省、原料來源易得、技術能級高、產品盈利水平高等優點。

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