人物簡介
張衛，教授，博士生導師。
1999年5月－今，復旦大學微電子學系教授
2001年2月－2002年5月，德國開姆尼茨技術大學訪問學者（洪堡基金）
1997年5月－1999年4月，復旦大學電子工程系副教授
1995年6月－1997年4月，復旦大學電子工程系博士後
1991年9月－1995年5月，西安交通大學電氣工程系博士研究生
1988年9月－1991年6月，西安交通大學電氣工程系碩士研究生
1984年9月－1988年7月，西安交通大學電氣工程系本科生
自1995年以來主持和參加了“863”高技術項目、國家自然科學基金、教育部博士點基金、教育部骨幹教師資助計畫等10個項目的研究工作。
1999年5月擔任第1屆亞洲化學氣相澱積國際學術會議主席，是2001年5月在韓國舉行的第2屆亞洲化學氣相澱積國際學術會議顧問委員會成員，2000年擔任國際學術期刊ThinSolidFilms（Elsevier出版）的GuestEditor。自1997年以來是科學通報，ChinesePhysicsLetters,電子學報，ThinSolidFilms等期刊的審稿人。
1999年獲得上海市高校優秀青年教師稱號，上海市優秀博士後和復旦大學復華獎等。
自1991年以來發表學術論文121篇，其中包括SCI和EI收錄論文60餘篇，出版著作1部（第2作者），2002年獲得國家發明專利1項。
研究方向
亞100納米器件先進高k柵介質；
ULSI中低介電常數介質和銅互連；
微電子材料與工藝，薄膜技術，半導體器件；
原子層化學氣相澱積（ALCVD）；
低壓氣相生長金剛石薄膜；
講授課程
半導體材料(本科生)
微電子材料與工藝理論（研究生）
在研項目
國家自然科學基金：
超大規模積體電路中低介電常數介質與銅的相互作用，2002.01-2004.12
新型材料製備的現代熱力學研究，2002.01-2004.12
教育部骨幹教師資助計畫：
ULSI中的低介電常數介質，2001.01-2003.12
博士點基金：
化學氣相澱積金剛石的熱力學研究，2000.1-2002.12
主要作品
1.CopperMetallizationofLow-Dielectric-Constanta-SiCOFFilmsforULSIinterconnects,JournalofPhysics:CondensedMatter,vol.13,pp.6595-6608,2001
2.TheinfluenceofAradditiononthestructureofa-SiOCFfilmpreparedbyplasma-enhancedchemicalvapordeposition.JournalofPhysicsD:AppliedPhysics,34(2),pp.155-159(2001).
3.Low-dielectric-constanta-SiCOFfilmforULSIinterconnectionpreparedbyPECVDwithTEOS/C4F8/O2,AppliedPhysicsA,72,pp721-724,2001.
4.Low-dielectric-constanta-SiO2:C,FfilmpreparedfromSi(OC2H5)4/C4F8/Arbyplasma-enhancedCVD,ChemicalVaporDeposition,7(4),142-146,2001.
5.XPScharacterizationoftheinterfacebetweenlow-dielectric-constantamorphousfluoropolymerfilmandevaporation-depositedaluminum,AppliedSurfaceScience,Vol.178,pp.140-148,2001.
