熱解氮化硼（PBN）是特種陶瓷材料。熱解氮化硼的沉積過程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基體材料上，達到一定厚度後，最終冷卻脫模而製成。
■主要特點：
材料呈白色，無毒、無孔隙、易加工。
純度高達99.99％，表面緻密，氣密性好。
耐高溫，強度隨溫度升高，2200℃達到最大值。
耐酸、鹼、鹽及有機試劑，高溫與絕大多數熔融金屬、半導體等材料不濕潤、不反應。
抗熱震性好，熱導性好，熱膨脹係數低。
電阻高，介電強度高，介電常數小，磁損耗角正切低，並具有良好的透微波和紅外線性能。
在力學、熱學、電學等等性能上有著明顯的各向異性。
■套用
半導體單晶及III－V族化合物合成用的坩堝、基座：
原位合成GaAs、InP、GaP單晶的LEC系列坩堝。
分子束外延用的MBE系列坩堝。
VGF、VB法系列坩堝。
PBN／PG複合加熱器塗層。
石墨加熱器絕緣塗層。
高溫絕緣流體噴嘴。
MOCVD絕緣板。
異形坩堝及異形石墨件塗層。
晶片退火工藝用複合加熱器。
| ■規格： | ||
| 類 型 | 類 別 | 最 大 尺 寸 |
| 坩堝類 | LEC | 8 inch |
| VGF | 8 inch | |
| MBE | 8 inch | |
| 異形坩堝 | ||
| 板材類 | 圓形板材 | 8 inch |
| 長舟 | 8 inch | |
| 絕緣板(MOCVD) | 8 inch | |
| 塗層類 | 蒸發舟 | |
| 石墨加熱器 | ||
| PBN/PG複合加熱器 |
| ■主要參數: | |||
| 性能 | 單位 | 數值 | |
| 晶格常數 | µm | a:2.504×10-10 c:6.692×10-10 | |
| 表觀密度 | g/cm3 | 2.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩鍋) | |
| 氦透過率 | cm3/s | 1×10－10 | |
| 顯微硬度(Knoop)(ab平面) | N/mm2 | 691.88 | |
| 體積電阻係數 | Ω•cm | 3.11×1011 | |
| 抗張強度 (力|| “C”) | N/mm2 | 153.86 | |
| 抗彎強度 | (力|| “C”) | N/mm2 | 243.63 |
| (力⊥ “C”) | N/mm2 | 197.76 | |
| 彈性模量 | N/mm2 | 235690 | |
| 熱傳導率 | W/m•k | “a”方向 “c”方向 | |
| (200℃) | W/m•k | 60 2.60 | |
| (900℃) | W/m•k | 43.70 2.80 | |
| 介電強度(室溫) | KV/mm | 56 |
