無塵室專用吸塵器1.能迅速除去空氣中漂浮之微塵粒子。
2.能防止微塵粒子之產生及沉積。
一般傳統的無塵室清潔方式有：用無塵拖把、粘塵滾筒或無塵擦拭布除塵。對這幾種方式的測試發現，使用無塵拖把清潔容易造成無塵室的二次污染，擦拭效果只能達到CLASS1000的要求。使用幾次下來，無塵拖把的擦拭效果並不理想，甚至產生掉絮的現象。使用粘塵滾筒清潔無塵室地面，效率不高，而且需要大量的人力，一般客戶選擇粘塵滾筒清潔機台或產品，很少用來清潔地面。使用無塵擦拭布擦試地面，擦拭效果比較好，但相對成本太高，一片等級很差的聚酯纖維擦拭布價格也要在0.3元以上。能擦拭到的地面有限，而且不能重複利用。目前客戶比較常用也容易接受的清潔方式是無塵室專用吸塵器，或者也稱為潔淨室專用吸塵器。
使用帶有HEPA或ULPA過濾器的無塵室吸塵器，不但可以有效的過濾掉灰塵，同時可以把灰塵控制在機器內部，有效的處理無塵室的污染問題。
不過，並不是所有的吸塵器都適用，選擇合適的無塵室吸塵器必須考慮以下因素。
帶有HEPA或ULPA過濾器
所有在無塵室中使用的真空吸塵器都必須具備HEPA（高效過濾器）過濾功能，可以有效過濾掉0.3微米的微塵粒子達到99.97%。此外，HEPA（高效過濾器）必須後置於馬達，也就是說馬達運轉產生的灰塵也可以被HEPA過濾掉。請注意：不是所有的HEPA過濾系統都後置於馬達。一般常用的TIGER-VAC CR-1（帶HEPA）和NILFISK GM80（帶HEPA）的HEPA（高效過濾器）都後置於馬達，所以他們過濾效果可以適用到CLASS100的無塵室環境。但有些工業吸塵器，雖然也配置HEPA（高效過濾器），比如STARMIX系列的吸塵器，但他們的HEPA（高效過濾器）是前置於馬達，所以沒辦法過濾掉馬達運轉產生的灰塵，因此這些型號的吸塵器我們一般不推薦用到無塵室。
我們的無塵室吸塵器還可以配置ULPA（超高效過濾器），可以有效過濾掉0.12微米的微塵粒子達到99.999%。TIGER-VAC CR-1（帶ULPA）和NILFSIK GM80（帶ULPA）的過濾效果可以適用到CLASS10的無塵室環境。
客戶可以根據需要使用COUNTER（微塵測試儀）來測試吸塵器的過濾效果。
吸塵器必須是強排風
很多國產的吸塵器可以配置HEPA過濾器，但卻沒辦法做到強排風。一台真空吸塵器真正達到無塵室的要求，除了配置HEPA或ULPA過濾器以外，還要做到強排風（一台吸塵器只允許有一個進風口和一個出風口），才能保證吸入的灰塵100%的經過HEPA或ULPA過濾。家用的吸塵器或者一般普通工業吸塵器都做不到強排風，他們把灰塵吸進去以後，又從不同的出風口泄漏出來，造成潔淨室的二次污染。同時把原本靜止的灰塵又重新揚起來，落到產品上影響產品的良率。
在購買真空吸塵器時還必須考慮環境的乾濕度。
有液體環境下的無塵室選擇乾濕兩用無塵室吸塵器。沒有液體的無塵室最好選擇乾式無塵室吸塵器。因為乾式無塵室吸塵器只能用來過濾灰塵，不能用來吸液體，否則吸塵器電機會燒掉。但是一般乾式無塵室吸塵器的過濾效果比干濕兩用無塵室吸塵器效果好一些。
製造商必須不間斷地評估他們的內部規章制度，保證所有受控區域得到適當的清潔和維護。使用符合無塵室要求的、專門用來吸取微粒的吸塵器來清潔，可以有效地防止空氣微粒污染，保證空氣和產品的清潔，保護員工的身體健康。在選擇吸塵器時，必須知道為什麼需要吸塵器、吸取的是什麼東西，特別是在你打算用它來吸有害或危險物質，如細菌、有毒氣體、易燃易爆粉塵等，就要考慮產品的品質和性能。
