微執行器

內容介紹

微執行器是現代自動控制技術的關鍵技術。近年來，隨著微電子技術和微細加工工藝的快速發展，特別是微納米技術的蓬勃興起，為微執行器的開研究提供了有力的技術支持。本書共分9章，系統闡述和介紹了微執行器中電磁型微馬達、光學執行器、微閥門、微型泵、生物微執行器、微機械執行器和化學執行器的基本原理、技術基礎、製造工藝和套用實例。
本書可供從事自動化領域及微納米技術研究的工程技術人員閱讀參考，也可作為大專院校中相關專業師生的參考書。