鐵磁性薄膜鐵磁性薄膜特徵磁性薄膜的物理氣相沉積方法，其特徵在於，包括如下步驟：1)選擇基底材料，選擇錳金屬和銻金屬為源；2)將基底材料和錳、銻源材料送入生長爐；3)抽真空，控制錳源和銻源的溫度和生長時間；4)退火；5)完成薄膜的製備工藝。
