概述
納米編碼器又稱XY編碼器或者叫柵格，在X和Y方向上以10um的作為基礎周期，整個計量系統則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的雷射通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。
納米編碼器是用於測量二維超精密的平面位移的測量系統。NG-A是一個XY格線編碼器系統，湍流效應是雷射干涉儀經常會遇到的，該系統也可以避免與相單獨線性尺度關聯的阿貝誤差。NG-A在製造柵格的過程中，能夠保證其達到雷射干涉儀的精度，並且以一個更經濟的價格、更實用和更堅固的製造工藝來封裝它。
主要特點
1.亞納米的解析度；
2.重複性小於5nm；
3.低阿貝誤差；
4.對湍流效應及大氣壓強變化不敏感；
5.占地面積小，重量輕；
6.可選真空版本；
7.易於安裝，包括柵格安裝的應力消除；
8.柵格和探頭的間隙為12mm；
9.對準誤差低；
套用領域
1.高精度低成本位置控制；
2.實時校準；
3.精密金剛石車削實驗室；
4.鏡頭自動對焦；
5.位置測量
位置測量
不同於干涉儀和線性編碼器，只能執行一維測量，納米納米編碼器測量實際的平面位置。這消除了傳統的阿貝和正交誤差，這些誤差是與軸運動的失調有關的。納米編輯器還可以在相同的設定中跟蹤多個誤差，如定位精度和軸的直線度誤差。
干涉級重複性和解析度
納米編碼器這個高解析度系統可以解決的噪聲限制為0.3nm重複性優於10nm的位置增量。納米編碼器與同一領域中傳統的雷射干涉相比，它沒有不穩定的問題，如漂移，空氣湍流和光學路徑長度的靈敏度。
單次測量點
當今市場上的其他平面的編碼器不再將兩個感測器組裝在一個單元中的。這種配置使得安裝偏差很緊，很難最佳化。在這些類型的感測器對讀頭的偏轉也是很敏感的。納米編碼器使用一個單一的雷射光斑圖像的格線光柵，然後提取從這個單一的圖像中的X和Y的信息。因此，該感測器可以容忍兩個軸的偏轉運動，當連線第二個探頭時候可以讓測量的偏差補償回來。
連線ZSY的高解析度系統和處理器信號插值ISA卡連調整相位，納米編碼器系統已經顯示系統的強大和校準平台。此系統中的輸出是一台PC匯流排上的兩個位置的話，不再需要進行計數卡或外部的內插卡。位置測量可以允許納米編碼器的執行要求的測試的採樣的速率是375kHz，，例如掃描速度穩定，動態直線度的定位穩定性和動態偏航。此外，真尚有可以提供軟體工具進行數據分析，如通過儀器公司的設備支持，LabVIEW軟體，或者我們也可以承包給客戶制定具體的測試算法。
實時校準
我們在汽車行業的客戶開發一個精確的系統，在一個面積為15cm×15厘米的速度為每分鐘300到第400的插入操作。此客戶發現，他們遇到長期定位錯誤的問題，並且需要我們幫助解決這個問題。
利用納米編碼器系統，真尚有與客戶合作設計一個計量系統，當每個人插入點的貼裝頭和插入到組件的基板之間有相對運動時，這個系統會感測到。納米編碼器測到這些新生的定位誤差，相應的坐標位置會在軟體中被更新來保證正確拾取和放置。尚有為客戶提供了必要的硬體和軟體來完成這校準，並且還協助納米編碼器系統的安裝。
