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離子束加工
離子束加工的原理和電子束加工基本類似,也是在真空條件下,將離子源產生的離子束經過加速聚焦,使之撞擊到工件表面。離子束的加工裝置主要由包括離子源、真空系統...
簡介 特點 基本原理 套用 分類 -
電子束與離子束微細加工
電子束與離子束微細加工是指通過具有一定能量的電子束、離子束與固體表面相互作用來改變固體表面物理、化學性質和幾何結構的精密加工技術。用具有一定能量的電子束...
正文 -
聚焦離子束微納加工技術
《聚焦離子束微納加工技術》是2006年12月1日北京工業大學出版社出版的圖書,作者是顧文琪。
內容簡介 目錄 -
離子束
離子束是指以近似一致的速度沿幾乎同一方向運動的一群離子。離子源用以獲得離子束的裝置。在各類離子源中,用得最多的是電漿離子源,即用電場將離子從一團等離...
基本介紹 主要參數 其他 特點 -
聚焦離子束
聚焦離子束(Focused Ion beam, FIB)是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。
基本信息 工作原理 基本功能 曝光技術 -
聚焦離子束微納加工技術(電子束離子束光子束微納加工技術系列專著)
《聚焦離子束微納加工技術(電子束離子束光子束微納加工技術系列專著)》作者:顧文琪、馬向國、李文萍,出版社:北京工業大學出版社, 本書重點講述聚焦離子束技...
內容提要 編輯推薦 目錄 -
離子束顯微鏡
離子束顯微鏡包括液相金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子偵測器、5 -7軸向移動的試片基座、真空系統、抗振動和磁場的裝置、電子控制臺和計算機等硬設備...
聚焦離子束工藝 聚焦離子束工作原理和構造 離子束顯微鏡的基本功能 套用範圍 -
離子束刻蝕
離子束刻蝕也稱為離子銑,是指當定向高能離子向固體靶撞擊時,能量從入射離子轉移到固體表面原子上,如果固體表面原子間結合能低於入射離子能量時,固體表面原子就...
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光學投影曝光微納加工技術(電子束離子束光子束微納加工技術系列專著)
《光學投影曝光微納加工技術(電子束離子束光子束微納加工技術系列專著)》,作者:姚漢民、胡松、邢廷文,由北京工業大學出版社於2006年出版,本書系統介紹主...
內容提要 編輯推薦 作者簡介 目錄 -
FIB[聚焦離子束]
FIB(聚焦離子束,Focused Ion beam)是將液態金屬(大多數FIB都用Ga)離子源產生的離子束經過離子槍加速,聚焦後照射於樣品表面產生二次...