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濺射工藝
濺射工藝是以一定能量的粒子（離子或中性原子、分子）轟擊固體表面，使固體近表面的原子或分子獲得足夠大的能量而最終逸出固體表面的工藝。濺射只能在一定的真空狀態下進行。
定義 原理 參考書目 -
陰極濺射
當真空室內的真空度為13Pa時，在陰陽兩電極之間加上一定的電壓，氣體就會發生自激放電，從陰極發射出的原子或原子團可沉積在陽極或真空室的壁上。這種濺射就稱...
濺射和輝光放電 陰極濺射 -
二極濺射鍍膜
二極濺射鍍膜是指在真空環境中利用粒子轟擊靶材產生的濺射效應，使得靶材原子或分子從固體表面射出，在基片上沉積形成薄膜的過程。屬於物理氣相沉積（PVD）製備...
原理簡介 發展套用 -
消氣劑濺射
當真空室內的真空度為13Pa時，在陰陽兩電極間加上一定的電壓，氣體發生自激放電，從陰極發射出的原子或原子團可沉積在陽極或真空室的壁上。 因此，外部電路中...
介紹 優點 缺點 相關詞條 相關連結 -
真空磁控濺射技術
鍍層。濺射鍍膜最初出現的是簡單的直流二極濺射，它的優點是裝置簡單，但是...進行；不能濺射絕緣材料等缺點限制了其套用。在直流二極濺射裝置中增加一個...原理濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在異常輝光放電產生的電漿在電場的作用下...
原理 特點 分類 方法 存在問題 -
吸氣劑離子泵
，必須提高電離幾率，因而電離機構就有多種形式。 微型複合濺射離子泵濺射...器件僅靠濺射離子泵作為抽氣設備難以達到要求，作者研製了一種微型複合濺射離子泵。複合濺射離子泵的概念早在1959年就有過報導。但最初的複合泵結構...
工作原理 微型複合濺射離子泵 操作方法 產品特點 -
薄膜技術與薄膜材料
壓強計第4章 真空裝置的實際問題4.1排氣的基礎知識4.2材料的放氣4.3排氣時間的估算4.4實用的排氣系統4.5檢漏4.6大氣溫度與濕度對裝置...的蒸氣發射特性與基板配置9.5蒸鍍裝置及操作9.6合金膜的蒸鍍9.7化合物...
圖書信息1 圖書信息2 -
磁控濺射
濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產生...運動的足夠動量，離開靶被濺射出來。 種類磁控濺射包括很多種類。各有不同...靶材利用率，可採用旋轉磁場。但旋轉磁場需要旋轉機構，同時濺射速率要減小...
原理 種類 濺射技術 磁控濺射設備的主要用途 -
薄膜技術與薄膜材料[2011年清華大學出版社出版圖書]
油封機械泵202.1.2 擴散泵242.1.3 吸附泵292.1.4 濺射...）49習題50第3章 真空裝置的實際問題523.1 排氣的基礎知識... 檢漏方法603.5.2 檢漏的實際操作623.6 大氣溫度與濕度對裝置...
圖書信息 內容簡介 目錄
