機理

目前對機理有兩種解釋：一是機理指為實現某一特定功能，一定的系統結構中各要素的內在工作方式以及諸要素在一定環境下相互聯繫、相互作用的運行規則和原理；二是指事物變化的理由和道理，從機理的概念分析，機理包括形成要素和形成要素之間的關係兩個方面。化學動力學中，“機理”是指從原子的結合關係中來描繪化學過程。如果其過程是動力學控制的，機理是指原子水平的表面過程。

原理

是指為實現某一特定功能，一定的系統結構中各要素的內在工作方式以及諸要素在一定環境條件下相互聯繫、相互作用的運行規則和原理。

套用領域

機理是指事物變化的理由與道理。在化學動力學中，所謂“機理”是指從原子的結合關係中來描繪化學過程。如果其過程是動力學控制的，機理是指原子水平的表面過程。在化學氣相沉積中，機理的含義更加廣泛。