加工原理
超音波的加工原理是：加工時在工具和工件間加入液體（煤油或水等）和磨料混合的懸浮液，並使工具以很小的力輕輕作用在工件上，由換能器產生超聲頻的縱向振動，並藉助於變幅桿將振幅放大到0.05-0.1mm左右，驅動工具端面作超聲振動，迫使工作液中懸浮的磨粒以很大的速度和加速度不斷地撞擊、拋磨被加工表面。
Thoe通過對超聲加工的深入研究，對其材料去除機理進行了詳細總結。這些機理主要包括：1).由磨料粒子錘擊工件表面引起的機械沖蝕；2).磨料粒子自由運動產生的微切屑的切削作用；3).懸浮液的超聲空化作用；4).與所用懸浮液體發生的化學反應。通過調整實驗參數，實際的材料去除機理可能是上述機理之一,或者幾種機理的複合作用。
微細超音波加工
微細超音波加工可以說是常規超音波加工相的小型化，但是在微納米尺度下對小型工件進行的加工。微細加工通常用在醫療器械領域、電子領域及國防領域，超音波也是如此。微細超音波技術加工工藝生產的零件通常需要用顯微鏡來觀察。目前還沒有商業化，尚處於研究階段。
