XeOF4
【相對分子量或原子量】223.26
【熔點（℃）】—46.2（℃）
【沸點（℃）】101（℃）
【性質】
室溫下為無色透明易流動的液體，是稀有氣體氙生成的鹵氧化物之一，屬於其中比較穩定的一個，可以長期儲存於鎳制的容器中。四氟一氧化氙是六氟化氙水解不完全的產物，它可以進一步水解為二氟二氧化氙，最終生成三氧化氙：
XeOF4 + 2H2O → XeO3 + 4HF 四氟一氧化氙分子為四方錐構型，四個氟原子共平面，氧和孤對電子分處這個平面的兩側。它有部分電離，加入氟化銫或氟化銣會使電導率劇烈增大。
四氟一氧化氙可被過量的氫在300°C時還原為氙。這是一個定量反應，可以用這個方法分析XeOF4：
XeOF4 + 3H2 → Xe + H2O + 4HF
【製備或來源】
將氙、氟和氧的混合物（Xe:F2=1:4,O2:F2=2.25)加熱到235°C，所得產物為六氟化氙和四氟一氧化氙。0°C下真空蒸餾，可以得到純淨的四氟一氧化氙液體。
控制六氟化氙與被水蒸氣飽和過的空氣反應，有80%的XeF6轉化為XeOF4：
XeF6 + H2O → XeOF4 + 2HF
把六氟化氙封裝在石英容器中，讓六氟化氙與二氧化矽緩慢反應，也能生成四氟一氧化氙。使用上述反應時，應立即將生成的XeOF4分離出來，否則會繼續反應生成XeO3。
2XeF6 + SiO2 → 2XeOF4 + SiF4
